کوره لوله PECVD
کوره لوله PECVD یک سیستم کوره لوله رسوب فاز گاز پلاسما است که از یک محفظه واکنش کوارتز، یک منبع تغذیه فرکانس رادیویی، یک سیستم مخلوط گاز چند کاناله، یک واحد خلاء و یک سیستم کنترل واکنش تشکیل شده است. این کوره از مواد فیبر آلومینا با خلوص بالا استفاده می کند و سطح با پوشش آلومینا با دمای بالا وارداتی پوشانده شده است تا عمر مفید ابزار را افزایش داده و راندمان گرمایش را بهبود بخشد. یک دستگاه القایی فرکانس رادیویی در مقابل رسوب بخار شیمیایی سنتی برای یونیزه کردن گاز واکنش و تولید پلاسما نصب شده است. فعالیت زیاد پلاسما باعث تسریع واکنش می شود. یکنواختی و تکرارپذیری خوبی دارد، می تواند در یک منطقه بزرگ فیلم تشکیل دهد، می تواند در دماهای پایین فیلم تشکیل دهد، پوشش گام عالی دارد و به راحتی ترکیب و ضخامت فیلم را کنترل می کند و به راحتی صنعتی می شود. به طور گسترده ای در رشد لایه های نازک مانند گرافن، مونوکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون، اکسی نیترید سیلیکون و سیلیکون آمورف (A-SI: H) استفاده می شود.
| اندازه لوله کوره (MM) | دمای کارکرد (درجه سانتیگراد) | درجه خلاء | توان (KW) | ولتاژ | عناصر گرمایشی | نرخ گرمایش |
| ف60*2200 | 1100 درجه سانتی گراد | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380 ولت | سیم مقاومتی | 1-20 درجه سانتیگراد / دقیقه |
| ف80*2200 | 3 | |||||
| ف100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
کورههای لولهای برای دههها ستون فقرات پردازش در دمای بالا بودهاند - با این حال شکاف بین یک واحد مشخص و یک واحد ضعیف میتواند به معنای تفاوت بین نتایج ثابت و خرابیهای پرهزینه باشد. چه در حال پخت سرامیکهای پیشرفته، انجام آزمایشهای CVD یا پردازش آلیاژها در اتمسفر کنترلشده باشید، درک اینکه چه چیزی یک کوره لولهای با دمای بالا را از کورهای که صرفاً داغ میشود جدا میکند، قبل از خرید ضروری است. یک کوره لوله ای با دمای بالا چگونه کار می کند یک کوره لوله ای موادی را که...
