کوره لوله PECVD
کوره لوله PECVD یک سیستم کوره لوله رسوب فاز گاز پلاسما است که از یک محفظه واکنش کوارتز، یک منبع تغذیه فرکانس رادیویی، یک سیستم مخلوط گاز چند کاناله، یک واحد خلاء و یک سیستم کنترل واکنش تشکیل شده است. این کوره از مواد فیبر آلومینا با خلوص بالا استفاده می کند و سطح با پوشش آلومینا با دمای بالا وارداتی پوشانده شده است تا عمر مفید ابزار را افزایش داده و راندمان گرمایش را بهبود بخشد. یک دستگاه القایی فرکانس رادیویی در مقابل رسوب بخار شیمیایی سنتی برای یونیزه کردن گاز واکنش و تولید پلاسما نصب شده است. فعالیت زیاد پلاسما باعث تسریع واکنش می شود. یکنواختی و تکرارپذیری خوبی دارد، می تواند در یک منطقه بزرگ فیلم تشکیل دهد، می تواند در دماهای پایین فیلم تشکیل دهد، پوشش گام عالی دارد و به راحتی ترکیب و ضخامت فیلم را کنترل می کند و به راحتی صنعتی می شود. به طور گسترده ای در رشد لایه های نازک مانند گرافن، مونوکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون، اکسی نیترید سیلیکون و سیلیکون آمورف (A-SI: H) استفاده می شود.
| اندازه لوله کوره (MM) | دمای کارکرد (درجه سانتیگراد) | درجه خلاء | توان (KW) | ولتاژ | عناصر گرمایشی | نرخ گرمایش |
| ف60*2200 | 1100 درجه سانتی گراد | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380 ولت | سیم مقاومتی | 1-20 درجه سانتیگراد / دقیقه |
| ف80*2200 | 3 | |||||
| ف100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
یک کوره تسمه مشبک هفت منطقه ای که در دمای 1120 درجه سانتیگراد کار می کند می تواند 3± درجه سانتیگراد را در سراسر تسمه نگه دارد و همچنان قطعات را با سختی ناسازگار حمل کند، زیرا نقطه شبنم در منطقه آبگیری پس از افزایش سرعت تسمه منحرف شده است. این ماهیت متالورژی پودر است: کوره جعبه ای نیست که داغ شود، بلکه یک راکتور شیمیایی است که یک نوار نقاله به آن متصل است. پاسخ کوتاه: یک کوره متالورژی پودر را با پنجره فرآیندی که باید نگه دارد انتخاب کنید - نمایه آبگیری، کیفیت اتمسفر، دمای تف جوشی، سرع...
