کوره لوله PECVD
کوره لوله PECVD یک سیستم کوره لوله رسوب فاز گاز پلاسما است که از یک محفظه واکنش کوارتز، یک منبع تغذیه فرکانس رادیویی، یک سیستم مخلوط گاز چند کاناله، یک واحد خلاء و یک سیستم کنترل واکنش تشکیل شده است. این کوره از مواد فیبر آلومینا با خلوص بالا استفاده می کند و سطح با پوشش آلومینا با دمای بالا وارداتی پوشانده شده است تا عمر مفید ابزار را افزایش داده و راندمان گرمایش را بهبود بخشد. یک دستگاه القایی فرکانس رادیویی در مقابل رسوب بخار شیمیایی سنتی برای یونیزه کردن گاز واکنش و تولید پلاسما نصب شده است. فعالیت زیاد پلاسما باعث تسریع واکنش می شود. یکنواختی و تکرارپذیری خوبی دارد، می تواند در یک منطقه بزرگ فیلم تشکیل دهد، می تواند در دماهای پایین فیلم تشکیل دهد، پوشش گام عالی دارد و به راحتی ترکیب و ضخامت فیلم را کنترل می کند و به راحتی صنعتی می شود. به طور گسترده ای در رشد لایه های نازک مانند گرافن، مونوکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون، اکسی نیترید سیلیکون و سیلیکون آمورف (A-SI: H) استفاده می شود.
| اندازه لوله کوره (MM) | دمای کارکرد (درجه سانتیگراد) | درجه خلاء | توان (KW) | ولتاژ | عناصر گرمایشی | نرخ گرمایش |
| ف60*2200 | 1100 درجه سانتی گراد | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380 ولت | سیم مقاومتی | 1-20 درجه سانتیگراد / دقیقه |
| ف80*2200 | 3 | |||||
| ف100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
چرا کوره های الکتریکی صنعتی پردازش در دمای بالا را دوباره تعریف می کنند؟ در تولید مدرن، کنترل حرارتی دقیق یک امر لوکس نیست - این یک نیاز فرآیند است. کوره الکتریکی صنعتی به ستون فقرات عملیات در دمای بالا در متالورژی، سرامیک، هوافضا و تولید مواد پیشرفته تبدیل شده است. برخلاف جایگزینهای مبتنی بر سوخت، کورههای الکتریکی پروفیلهای حرارتی قابل برنامهریزی و تکراری را با حداقل آلودگی جوی ارائه میکنند که آنها را برای فرآیندهایی ضروری میسازد که به تحملهای شدید نیاز دارند. آنچه امرو...
