سیستم کوره PECVD
این محصول یک سیستم PECVD با سایز متوسط و کشویی باز می باشد. این سیستم کوره لوله PECVD مجهز به منبع تغذیه RF پلاسما، سیستم اختلاط گاز با جریان جرمی سه طرفه (با محدوده 1-100 SCCM، 1-200 SCCM، و 1-200 SCCM)، یک کوره لوله باز با قطر 60 میلی متر (با فلنج خلاء و یک فلنج مکانیکی ) است.
اطلاعات محصول
| مدل محصول | سیستم کوره لوله PECVD کشویی——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| پارامترهای اصلی محصول | منبع تغذیه: 220 ولت 50/60 هرتز؛ توان نامی: 3.1 کیلو وات; حداکثر دمای عملیاتی: 1200 درجه سانتیگراد (<0.5 ساعت)؛ دمای کار مداوم: ≤1100 درجه سانتیگراد. نرخ گرمایش توصیه شده: ≤10 درجه سانتیگراد در دقیقه. طول منطقه گرمایش: 440 میلی متر؛ ترموکوپل: نوع K |
| ویژگی های اصلی | منبع تغذیه RF می تواند به افزایش پلاسما دست یابد و دمای آزمایشی را به میزان قابل توجهی کاهش دهد. افزایش و کاهش سریع دما را می توان با لغزش بدنه کوره به دست آورد. تنش فیلم را می توان با فرکانس منبع تغذیه RF کنترل کرد. استوکیومتری را می توان با تنظیم فرآیند کنترل کرد. مواد مختلفی مانند SiOx، SiNx، SiOxNy و (a-Si:H) را می توان رسوب داد. |
| عنصر گرمایش | سیم آلیاژ آهن-کروم-آلومینیوم 0Cr21Al6Nb |
| اندازه لوله کوره | قطر لوله کوارتز اختیاری: Φ60 |
| سیستم کنترل دما | شامل یک کنترل کننده دمای YD858. کنترل PID و تنظیم خود تنظیم، کنترل هوشمند قابل برنامه ریزی 50 قسمتی، با عملکردهای هشدار دمای بیش از حد و فرسودگی. دقت کنترل دما: ± 1℃ |
| منبع تغذیه RF پلاسما | منبع تغذیه RF 300W; توان خروجی: 0~300W قابل تنظیم؛ فرکانس RF: 13.56 مگاهرتز; تطبیق خودکار؛ سطح نویز کمتر از 50 دسی بل؛ روش خنک کننده: خنک کننده هوا. ولتاژ ورودی: 180 ~ 250 ولت |
| رابط فلنج آب بندی خلاء | پیکربندی استاندارد: یک جفت فلنج خلاء فولادی ضد زنگ و حلقه های آب بندی سیلیکونی با دمای بالا. فلنج های خروجی فلنج های سه پورت K16، KF25 و Φ8.2 هستند. فلنج خروجی را می توان با یک دم به آداپتور KF25 و سپس به پمپ خلاء متصل کرد. |
| پمپ خلاء | پمپ خلاء مکانیکی پره دوار TRP-12 را بپذیرید. درجه خلاء می تواند به 10-2torr برسد. لوازم اتصال خلاء مجهز به گیره KF25 و دم فولادی ضد زنگ برای اتصال کوره لوله و پمپ خلاء می باشد. |
| سیستم گازرسانی | سیستم اختلاط جریان جرمی سه طرفه - GYS-3Z. منبع تغذیه: 220 ولت 50/60 هرتز؛ محدوده اندازه گیری: 1-100 SCCM، 1-200 SCCM، 1-500 SCCM. یک گیج فشار مکانیکی روی پانل جلویی نصب شده و به لوله اختلاط متصل می شود. محدوده گیج فشار: -0.1-0.15MPa. اندازه مخزن مخلوط: Φ80 * 120 میلی متر. لوله اتصال داخلی Φ6.35 است |
| ساختار کوره | بدنه کوره را می توان به چپ و راست و منبع تغذیه RF را می توان به چپ و راست حرکت داد. بدنه کوره و منبع تغذیه RF روی یک ریل کشویی نصب می شوند و از همان لوله کوارتز استفاده می کنند. |
| استانداردهای صدور گواهینامه و اجزای اصلی | اجزای اصلی کل دستگاه مطابق با استانداردهای CE، UL، MET و سایر استانداردهای صدور گواهینامه است. اجزای اصلی شامل قطعات الکتریکی ABB، سیم ها و کابل های دارای گواهینامه UL، ابزارهای Omega، Yudian، Continental و غیره است. |
تماس با ما
شرکت فیبر کریستال ژجیانگ ننگ چنگ با مسئولیت محدود
شرکت فیبر کریستال ژجیانگ ننگ چنگ با مسئولیت محدود در سال ۲۰۱۵ تأسیس شد. این شرکت یک واحد تخصصی است که در زمینه توسعه و تولید مواد سبکوزن، کممصرف و مقاوم در برابر دمای بسیار بالا فعالیت میکند و کورههای الکتریکی آزمایشگاهی، کورههای الکتریکی صنعتی و کورههای الکتریکی سفارشی غیراستاندارد را عرضه مینماید. تخصصی سیستم کوره PECVD تولیدکنندگان و سیستم کوره PECVD کارخانهاین شرکت بر اساس اصل «بقا با کیفیت، پیشرفت با اعتبار» فعالیت میکند و فلسفه کسبوکار خود را بر پایه «عملگرایی، صداقت و کارایی» استوار ساخته است. ما متعهد به ارائه راهکارهای جامع و باکیفیت تجهیزات به مشتریان در صنایع سرامیک، متالورژی، الکترونیک، شیشه و مهندسی شیمی هستیم. همچنین خدماتی مانند پخت پودر، سینترینگ سرامیکی و آزمایشهای دمای بالا را به دانشگاهها، مراکز تحقیقاتی و واحدهای صنعتی و معدنی ارائه میدهیم. در عین حال، ما در تلاشیم تا توسعه راهبردی الیاف آلومینای سبکوزن، کممصرف و سازگار با محیطزیستِ نِنگچِنگ را در حوزه کورههای نوین گسترش داده و به یک ارائهدهنده بینالمللی خدمات پیشرو در صنعت تجهیزات پیشرفته دمای بالا تبدیل شویم. سیستم کوره PECVD سفارشی.
آخرین اخبار
-
معرفی به عملیات حرارتی خلاء عملیات حرارتی خلاء یک فرآیند متالورژیکی پیشرفته است که برای بهبود خواص مکانیکی و دوام قطعات صنعتی استفاده می شود. با حرارت دادن مواد در محیط خلاء، اکسیداسیون و آلودگی به حداقل می رسد و در نتیجه عملکرد مواد دقیق و ثابتی حاصل می شود. این تکنیک به طور گسترده در صنایعی مانند هوافضا، خودروسازی، تولید ابزار و الکترونیک کاربرد دارد. استحکام و سختی مواد افزایش یافته است یکی از مزایای اصلی عملیات حرارتی خلاء، توانایی آن در افزایش قابل توجه استحکام و سختی ...
